氮化硅粉末的制造方法及设备

2018-05-31  来自: 安阳市恒泰氮化科技有限公司 浏览次数:932

一种用四氯化硅与液氨在有机溶剂界面反应生成硅亚胺,然后将其加热分解制得氮化硅粉末的方法及设备,其特征在于通过如下步骤连续进行:  (a)硅亚胺的合成:在装有搅拌器和多孔分布板的反应器[2]中首先加入液氨和与之不相溶且比重大于液氨的有机溶剂,然后将四氮化硅和惰性气体连续通入有机溶剂层中并不断补充液氨,惰性气体携带四氯化硅通过多孔分布板[8a]均匀到达有机溶剂和液氨界面,与液氨反应生成硅亚胺和副产物氯化铵,漂浮于有机溶剂上面。  (b)硅亚胺的洗涤:生成的硅亚胺和副产品氯化氨随液氨流体通过反应器出口流经装有液氨喷嘴[10]和多孔过滤板[8b]的喷淋洗涤器[3],硅亚胺得到洗涤,副产物氯化氨溶解在液氨中通过多孔过滤板后回收。  (c)固液分离:洗涤后的硅亚胺随液氨流体通过喷淋洗涤器出口流入旋液分离器[4],经过旋液分离,硅亚胺与液氨分开。  (d)热分解:硅亚胺连续进入热分解结晶化处理炉[5],在惰性气体气氛中加热分解并进行结晶化制得α—Si↓[3]N↓[4]粉末。

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